加工定制:是 | 品牌:雨菲(Luphitech) | 型号:VTRS0383 |
工作电压:≤50VDCV | 工作电流: ≤100mA A | 类型:柔性薄膜开关 |
接触电阻:0.5~10Ω Ω | 绝缘电阻:≥100MΩ(100VDC) Ω | 回弹时间:≤6ms ms |
基材耐压: 2kDVC | 使用寿命:>100万次 次 | 工作温度:-20℃~+70℃ ℃ |
产品认证:CQC |
晶体取向外延是指一种物质在另一种物质上,以具有特定取向的结晶生长现象。在薄膜形成过程中连续进行观察,得到图4-45所示状况。
控制结晶排列的薄膜技术
薄膜在外延生长时,衬底物质种类和取向以及衬底温度的选择是非常重要的因素。外延膜的排列受衬底晶格的几何因素影响很大,通常使用清净单晶作衬底。膜一衬底之间存在着表4-12所示那种外延关系。深圳薄膜开关
对于膜一衬底组合存在发生外延***衬底温度及外延温度。外延温度随着衬底表面状态、蒸汽沉积速度和周围气体种类及压力的不同而发生变化。特别是蒸汽沉积速度快时,外延温度有增高倾向,所以外延多数要求高温和低沉积速度。
外延生成的薄膜整体一定是一个单晶。在衬底垂直方向上成为几个5m程度的晶粒集合体情况也有。
真空蒸汽沉积法、离子化蒸汽沉积法、喷镀蒸汽沉积法及CVD法都能发生外延,但采用CVD法时,外延温度在1000℃左右,而在真空蒸气沉积法和喷镀蒸汽沉积法时多数在几百度就很好,目前真空蒸汽沉积法和喷镀蒸汽沉积法研究例子比较多.离子束蒸汽沉积法和多离子束蒸汽沉积法也可在***温度下发生外延。对于化合物薄膜的外延,采用对组成容易控制的喷镀蒸汽沉积法更为合适。
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